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潔凈厭氧高溫氣氛爐
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潔凈厭氧高溫氣氛爐
C1-008
光刻工藝后段，光刻膠固化。
特點(diǎn)
  • 最高工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級(jí)、氧濃度20ppm以下。
  • 程序運(yùn)轉(zhuǎn)功能，有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式。
  • 快速升溫、降溫，降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。
  • 配置了自動(dòng)門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計(jì)等。
  • 全不銹鋼材質(zhì)。
  • 在安全方面，配置了自動(dòng)過升防止、過升防止器、氮?dú)鈮毫Ξ惓！⒌獨(dú)饬髁慨惓！⑦^電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置。
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